VPSA deguonies gamyklos kūrimas

1891 metais Vokietijos įmonė „Linde“ pradėjo oro skystinimo darbus šaldymo mašinų gamybos įmonės laboratorijoje.
1895 m. profesorius Linde pagamino pirmąjį skysto oro prietaisą, naudodamas Joule-Thomson efektą.
1901 m. „Linde“ įkūrė kriogeninės įrangos gamyklą Miunchene.
1902 m. buvo baigta statyti oro atskyrimo įranga pirmajam Linde suprojektuotam vieno etapo rektifikacijos bokštui. Prancūzas Krautas išrado išsiplėtimo mašiną ir Paryžiuje įkūrė oro skystinimo įmonę.
1903 m. Linde pagamino pirmąjį pramoninį 10 m3/h deguonies generatorių, naudodama aukšto slėgio droselio procesą.
1910 m. Prancūzija pagamino pirmąjį 50 m3/h deguonies generatorių, naudodama vidutinio slėgio procesą su stūmoklio plėtimo mašina.
1920 m. Hyland (Vokietija) išrado aukšto slėgio skystojo deguonies gamybos procesą su aukšto slėgio plėtimosi mašina.
1924 m. Frankelis pasiūlė dideliuose oro atskyrimo įrenginiuose vietoj įprastų šilumokaičių naudoti metalinius aušintuvus.
1926 m. Frankelis pasiūlė įprastą šalčio akumuliatorių.
1930 m. „Linde“ pagamino pirmąjį pramoninio masto „Linde Frankel“ įrenginį, kurio našumas buvo 255 m3/h, o O2 grynumas – 99,5 proc.
1932 m. turboekspanderis pirmą kartą buvo panaudotas „Linde-Frankel“ agregate. Deguonis pirmą kartą buvo naudojamas metalurgijoje ir amoniako sintezėje Vokietijoje.
1939 m. Sovietų Sąjunga sukūrė didelio efektyvumo turboekspanderį ir pradėjo tyrinėti visą žemo slėgio oro atskyrimo įrangą.
1947 m. „Linde“ paskyrė visą apatinio slėgio pramoninės deguonies gamybos įrangą. Sovietų Sąjunga pradėjo projektuoti dideles pramonines deguonies gamyklas su visais žemo slėgio procesais.
1949 m. JAV pirmą kartą 29000m3/h deguonies generatoriuje panaudojo plokščių deformacinį šilumokaitį.
1952 m. Austrija pirmą kartą panaudojo gryno deguonies keitiklį, išpūstą plienui gaminti, todėl smarkiai padidėjo metalurgijos deguonies kiekis.
1955 metais JAV energingai kūrė raketas ir kaip greitintuvą sunaudojo daug skysto deguonies.
1957 m. buvo pagamintas pirmasis automatiškai veikiantis 120 tonų per dieną deguonies generatorius.
1960 m. Japonija užbaigė 10 000 m3/h99,6 proc. O2 ir 10000 m3/h99,99 proc. N2 dvigubą didelio grynumo didelio masto žemos įtampos įrangą.
1972 m. Prancūzija pagamino didžiausią pasaulyje gryno deguonies oro atskyrimo įrangą: 1700 tonų per dieną O2 ir 1500 tonų per dieną N2.
Didesni vienetai vis dar tiriami.