
PSA deguonies generatorius puslaidininkiui
Aprašymas
Techniniai parametrai
Kodėl puslaidininkių pramonei reikia PSA deguonies generatorių?
Didelio grynumo dujų tiekimas:Puslaidininkių gamyba turi griežtus dujų grynumo reikalavimus, o didelio grynumo deguonies yra būtina litografijai, valymui ir kitoms jungtims. Naudodamas slėgio sūpynių adsorbcijos technologiją, PSA deguonies generatorius gamina deguonį, kurio grynumas yra 95%± 3%, o tai atitinka oksido sluoksnio susidarymo ir vaflių valymo reikalavimus ir išvengia tradicinio dujų cilindro deguonies tiekimo priemaišų užteršimo rizikos.
Užtikrinkite proceso stabilumą:Puslaidininkių gamybos linijos reikalauja nuolatinio ir stabilaus dujų tiekimo. PSA deguonies generatorius naudoja dvigubus adsorbcijos bokštus, kad veiktų pakaitomis, ir per PLC intelektualią valdymą jis gali pasiekti 24- valandos nepertraukiamą deguonies tiekimą, išvengti gamybos pertraukimų, kuriuos sukelia rankinis buteliuko pakeitimas, ir pritaikyti procesams, jautriems oro slėgiui, pavyzdžiui, ploni plėvelės nusėdimui ir ėsdinimui.
Sumažinkite išlaidas ir optimizuokite erdvę:Palyginti su skysto deguonies laikymo rezervuarais ir aukšto slėgio dujų balionais, PSA deguonies generatoriai gamina deguonį vietoje, labai sumažina transportavimo ir laikymo išlaidas. Jis turi nedidelį pėdsaką ir palaiko modulinę plėtrą, tenkinančią maksimaliai padidinti erdvės naudojimą švariose puslaidininkių gamyklų dirbtuvėse. Ilgalaikio naudojimo kaina yra maždaug 20% mažesnės nei tradicinis metodas.
Prisitaikykite prie specialių procesų:Pažangių procesų metu kai kuriems specialiems procesams reikia tiksliai kontroliuoti deguonies koncentraciją. PSA deguonies generatorius gali lanksčiai sureguliuoti deguonies išėjimo grynumą (95%-99. 9%), sureguliuodamas adsorbcijos slėgio ir molekulinio sieto santykį, kad atitiktų specialius 3D NAND „Flash“ atminties gamybos proceso reikalavimus.
Ekologiškos ir lengvai prižiūrimi:PSA technologijai nereikia cheminių reagentų, o deguonies gamybos procesas neišskiria kenksmingų medžiagų, kurios atitinka puslaidininkių pramonės aplinkos apsaugos standartus. Įranga naudoja maisto lygio nerūdijančio plieno ir savaime valcuojančius molekulinius sietus, kurių priežiūros ciklas yra iki 3-5 metų, ir yra tinkama aukšto valymo vaflių gamybos aplinkai.

Kategorija | Parametro informacija |
Deguonies grynumas | 93% -99. 5% (ULPA filtravimo sistema gali būti pritaikyta, priemaišų kiekis mažesnis arba lygus 1PPB) |
Išvesties slėgis | 0. 5-1. |
Srauto diapazonas | 10-5000 nm³/h (palaiko lygiagrečią kelių vienetų išplėtimą) |
Rasos taškas | Mažiau arba lygus -70 laipsniui (siekiant užkirsti kelią vandens garams teršiant proceso aplinka) |
Energijos efektyvumas | Mažiau arba lygus 0. 38 kWh/nm³ (didelio efektyvumo kintamo dažnio diskas, energijos taupymas daugiau nei 30%) |
Triukšmo lygis | Mažiau arba lygus 65DB (žemos vibracijos struktūra + garso atsparias apvalkalas, atitinkantis 1000 klasės švaraus kambario standartus) |
Pagrindiniai PSA deguonies generatoriaus pranašumai
Ypač aukšta grynumo garantija
Dvigubo sluoksnio molekulinės sieto lovos ir katalizinio oksidacijos vienetas yra naudojami norint giliai pašalinti priemaišas, tokias kaip angliavandeniliai ir CO₂, o deguonies grynumas siekia daugiau nei 99,5%, atitinkančias pusiau F20 standartą. Integruotas realaus laiko internetinis analizatorius, duomenų sinchronizavimas su gamyklos SCADA sistema, kad būtų užtikrintas proceso stabilumas.
Intelektuali kontrolė ir nereikalingas dizainas
Integruota PLC+HMI valdymo sistema palaiko nuotolinį stebėjimą, gedimų savigniazę ir avarinį perjungimą (dvigubos bokšto nereikalinga adsorbcija). Automatinė slėgio kompensavimo technologija, skirta patenkinti momentinį puslaidininkių įrangos didelį srautą.
Mažai anglies energijos taupymo tirpalas
VPSA (vakuuminio slėgio sūpynės adsorbcija) Sinergetinė technologija sumažina energijos suvartojimą, sutaupydamas 15% -20% energijos, palyginti su tradiciniu PSA.tifuliaciniu atliekų šilumos atkūrimo moduliu, kad sumažintų dirbtuvių šilumos apkrovą.
Švaraus kambario suderinamumas
Visa nerūdijančio plieno srauto kanalas + nano danga, kad būtų išvengta metalo jonų užteršimo; Nulio nuotėkio sandarinimo dizainas, išlaikytas ISO 8573-1 klasė 0 sertifikavimas.
PSA deguonies augalų tipai

Modulinė įranga

Dviejų bokštų įranga

Konteinerizuota įranga
NTK95 serijos PSA deguonies generatoriaus pasirinkimas | ||||||
Nr. | Modeliai | Pajėgumas (NM3/HR) |
Grynumas | Energijos suvartojimas Pagamintas 1NM3 deguonis (kw/h) |
Butelių skaičius Susimdytas per 12 valandų (PCS) |
Reikėjo operatoriaus |
1 | Ntk 95-5 p | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
2 | Ntk 95-10 p | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
3 | Ntk 95-15 p | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
4 | Ntk 95-20 p | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
5 | Ntk 95-25 p | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
6 | Ntk 95-30 p | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
7 | Ntk 95-40 p | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
8 | Ntk 95-50 p | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
9 | Ntk 95-60 p | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
10 | Ntk 95-80 p | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
11 | Ntk 95-100 p | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
DUK
1. Kiek gali būti deguonies grynumas, ir ar jis atitinka puslaidininkių gamybos reikalavimus?
Mūsų PSA deguonies generatorius puslaidininkiams gali reguliariai gaminti deguonį, kurio grynumas yra 95%± 3%. Kai kuriems procesams, kuriems reikalingas ypač didelis deguonies grynumas, sureguliuojant įrangos parametrus, deguonies išėjimo grynumas gali būti lanksčiai kontroliuojamas 95% - 99.
2. Kiek stabili yra įranga, ir ar ji gali užtikrinti nuolatinį puslaidininkių gamybos linijos veikimą?
Įranga priima dvigubą adsorbcijos bokštą kintamą darbo režimą kartu su PLC intelektualiosios valdymo sistema, kad būtų pasiekta 24- valandos nepertraukiama ir stabili deguonies tiekimas. Šis automatizuotas veikimo režimas išvengia dujų tiekimo pertraukimų, kuriuos sukelia rankinis buteliuko pakeitimas, užtikrinamas patikimas ir stabilus dujų tiekimas tokiems procesams kaip plonos plėvelės nusėdimas ir ėsdinimas, jautrus oro slėgiui, ir veiksmingai sumažina gamybos pertraukimų, kuriuos sukelia dujų tiekimo problemos, riziką.
3. Palyginti su tradiciniais deguonies tiekimo metodais, kokios yra naudojimo išlaidos?
Palyginti su skysto deguonies laikymo rezervuarais ar aukšto slėgio dujų cilindruais, mūsų PSA deguonies generatorius naudoja deguonies gamybos režimą vietoje, o tai labai taupo deguonies transportavimo ir laikymo išlaidas. Įranga užima nedidelį plotą ir gali būti išplėsta moduliniu būdu, sumažinant vietos nuomos išlaidas. Ilgainiui išlaidos yra maždaug 20% mažesnės nei tradicinis deguonies tiekimo būdas, o tai žymiai taupo eksploatavimo išlaidas.
4. Ar įrangos priežiūra yra sudėtinga? Kiek trunka priežiūros ciklas?
Įrangą lengva prižiūrėti, naudojant maisto produktų nerūdijančio plieno ir savaime valymo molekulinius sietus, o tai labai sumažina techninės priežiūros darbo krūvį. Įprastomis aplinkybėmis techninės priežiūros ciklas yra tol, kol {3-5 metai, ir mes esame aprūpinti profesionalia garantinių pardavimų komanda, kuri bet kuriuo metu teiktų techninę paramą, kad padėtų jums išspręsti problemas veikiant įrangai.
Veikite dabar, kad užtikrintumėte savo deguonies tiekimo grandinę
✅ Individualizuoti sprendimai:
Papasakokite mums savo lovos pajėgumus ir didžiausią pritaikyto pasiūlymo paklausą.
✅ Greitas pristatymas:
Iš anksto sukonstruoti moduliai, išsiųsti 8-12 savaitėmis.
✅ Finansavimo galimybės:
Galimi nuomos planai.
Telefono numeris
+86 15888864725
„WhatsApp“ numeris
+86 15888864725
El. Paštas
sales@newtek-group.com
Populiarus Žymos: PSA deguonies generatorius puslaidininkiui, Kinijos PSA deguonies generatorius, skirtas puslaidininkiui, tiekėjams, gamyklai
Pora
neSiųsti užklausą
Susisiekti
Parašykite savo žinutę